年入46亿,北京国家队又干出超级独角兽:半导体制造设备全球第二

2016年5月,一场“蛇吞象”的画面正在进行。一个成立时间不过半年的年轻公司,竟然想通过 19.18 亿元,收购一家美国拥有28年历史的半导体设备公司(MTI)。

这家公司就是:屹唐半导体。2015年12月,它由北京亦庄国投发起成立,初始定位为半导体设备技术开发与制造,但缺乏核心技术。亦庄国投的收购阳谋是:用资金换技术。

完成这场交易的关键人物是陆郝安。从物理学博士到英特尔技术骨干,再到执掌国产设备龙头,他的职业生涯恰似中国半导体产业发展的缩影。

2016年,他临危受命,操盘屹唐收购美国MTI,并非简单“买技术”,而是将MTI的技术与中国市场做结合,实现弯道超车。

9年后的今天,弯道超车的局面正在发生。

2025年7月8日,屹唐半导体以770亿元市值登陆科创板,是今年以来北京地区最大的IPO(募资额),也是亦庄国资孵化的最大规模科技IPO。

屹唐半导体的主要业务是:集成电路制造设备。其中,收入占比最高的产品是:干法去胶设备。2023年全球市场份额达34.60%,位居全球第二。

我们来看看:这家超级独角兽背后,揭示了哪些国家级机会?

01

陆郝安是怎么成为国内半导体的产业推手的?且看他的成长故事。

1977年,陆郝安考入中国科学技术大学,攻读物理学本科。

1982年毕业后,他通过CUSPEA项目(中美联合培养物理类研究生计划)赴美深造,在弗吉尼亚大学获得固态物理学博士学位。

1990年代,他在美国西北大学和北卡罗来纳州立大学担任科学研究员,专注于电子与光学薄膜领域。

4年后,他加入应用材料公司(全球最大半导体设备商),从高级工艺工程师晋升至项目主管,首次接触芯片制造核心工艺,意识到设备决定技术的天花板。

随后,他加入英特尔。1997年调入硅谷技术制造工程部,参与芯片量产研发,6年一线经验,让他掌握“从实验室到量产”的全流程。

2003年,他调任中国,主导两项关键任务:

大连芯片厂建设:负责亚洲首家12英寸厂(Fab 68)的设备供应链管理,推动本土化采购;

政府事务开拓:任英特尔中国公共事务总监4年,协调政府关系与教育项目,奠定产业政策理解力。

2009年,他出任SEMI中国区(国际半导体设备与材料协会)总裁。

他与屹唐半导体的故事,开始于7年后的2015年。

当年12月,北京亦庄国投成立“屹唐半导体”,初始定位为半导体设备技术开发与制造,但缺乏核心技术。

于是次年,亦庄国投收购美国Mattson Technology,陆郝安临危受命出任CEO。MTI成立于1989年,拥有干法去胶、快速热处理等核心技术,客户包括台积电、三星等巨头。

这正好填补的屹唐半导体的弱项。

干法去胶和快速热处理,是半导体芯片制造中的关键工艺设备技术。

前者像“洗玻璃”一样,能去除芯片制造中残留的光刻胶(一种用于图案化的光敏材料)。

后者像“微波炉加热”一样,能在几秒内将晶圆加热到1000℃以上,用于激活掺杂原子或修复晶格损伤。

2018年,屹唐北京亦庄工厂投产,首台国产化干法去胶设备下线。它将MTI设备制程能力从65nm提升至5nm,快速热处理设备全球市占率达13.05%(第二)。同时,产品打入台积电5nm产线、三星DRAM生产线,国内12英寸晶圆厂覆盖率从15%跃升至60%。

2018年,屹唐半导体营收突破2.52亿美元,扭亏为盈。2020年,屹唐连获三轮融资,引入红杉中国、IDG资本、深创投等机构,估值飙升至200亿元,成为妥妥的超级独角兽。

近三年,屹唐半导体的业绩呈现”V型”反转:2022年营收47.6亿元、净利3.8亿元开局稳健,但2023年受行业周期影响营收下滑17%至39.3亿元。

随着国产替代加速,2024年公司再次复苏,营收增长18%达46.3亿元,净利润更同比飙升75%至5.4亿元。

02

从以上故事,相信你也看到了:屹唐半导体是典型的国家队。实控人为北京经开区管委会,亦庄国投持股45.05%。

这也侧面说明了,屹唐半导体要解决的,其实是一个国产替代的问题。

刻蚀设备是芯片制造的核心装备之一,其精度直接决定晶体管结构的纳米级成型质量。

目前,屹唐的干法刻蚀设备虽已进入三星、长江存储的供应链,其设备可用于65nm到5nm逻辑芯片制造。

相比之下,泛林半导体的等离子刻蚀机已全面覆盖3纳米工艺,其极紫外(EUV)兼容刻蚀技术更是领先。

更严峻的是,国际巨头正通过“技术迭代+生态绑定”巩固垄断地位。

应用材料(AMAT)与泛林联合推出的“原子层刻蚀”方案,可将误差控制在0.1纳米以内,而屹唐的毫秒级温控技术尚无法实现同等级别的均匀性。

台积电等头部晶圆厂更倾向于采用“设备全家桶”——刻蚀、沉积、检测设备来自同一供应商以确保兼容性,这使得屹唐这类单一产品线企业难以打入先进制程产线。

面对悬殊的差距,屹唐的研发策略并非硬碰硬,而是依托其2016年收购美国MTI的技术遗产,走出一条“嫁接式创新”路径。

比如,借鉴MTI在快速热处理设备上的双晶圆传输技术,开发可同步处理两片晶圆的刻蚀腔体,将生产效率提升40%,成本降低30%。

这种差异化路线,在部分产品上实现了弯道超车。在3D NAND闪存领域,屹唐的高深宽比刻蚀设备凭借侧壁保护技术,良率比泛林同类产品高出5%,打入美光科技128层堆叠产线。

03

屹唐也揭示了半导体国产化的结构性机会。

据Gartner数据,2025年中国大陆半导体设备市场规模将突破500亿美元,但部分环节国产化率不足20%,尤其在刻蚀、薄膜沉积等关键环节仍依赖进口。

芯片制造各环节的国产化程度统计

一个关键的核心原因是:刻蚀机和薄膜沉积设备需要实现原子级精度控制。

例如,5nm刻蚀机的等离子体能量波动需控制在0.1%以内,而国产设备在均匀性和稳定性上仍落后国际巨头2-3代。

薄膜沉积设备中,原子层沉积(ALD)技术对膜厚控制要求达0.1nm(相当于1个原子层),而国产设备在7nm以下节点的台阶覆盖率不足90%,远低于应用材料(AMAT)的99.5%。

此外,在核心零部件,国内厂商很依赖进口。

刻蚀机的射频电源被美国MKS垄断)、真空泵被德国普发主导,薄膜沉积设备的气体分配系统被日本Horiba控制,部分关键部件国产化率不足10%。

这些大背景下,就给了国产企业几大机会。

首先是核心零部件的“国产替代窗口期”。2024年,国内部分企业被列入实体清单后,刻蚀机中超50%的进口零部件面临断供,比如射频电源、真空泵等。

美国出口管制,将倒逼中国加速供应链自主化。

其次是差异化技术路线的“换道超车”。

与国际巨头在硅基先进制程“硬碰硬”不同,中国企业正通过细分领域的技术弯道超车。

比如在第三代半导体设备上,中微半导体联合宁德时代开发的车规级碳化硅刻蚀机,良率突破92%。

比如在先进封装设备上,屹唐半导体将美国MTI的退火技术与刻蚀工艺结合,推出“刻蚀-退火”一体化设备,获长电科技小批量订单。

总而言之,中国半导体设备的竞争是马拉松长跑,而非冲刺。长跑并不是中国企业的挑战,而是机会。

本文来自微信公众号“铅笔道”(ID:pencilnews),作者:铅笔道,36氪经授权发布。

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